无尘室标准—无尘室(无尘车间)等级划分
无尘室标准—无尘室(无尘车间)等级划分
无尘室(洁净室)根据洁净程度不同分很多等级。
目前各半导体加工和面板组装厂的无尘室等级大都为1000级和100级的居多,数字越小,洁净等级越高。
依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室(洁净室)分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级;
如果无尘室(洁净室)的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸不是0.5um,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。
一、联邦规格无尘室等级
二、无尘车间-无尘室(洁净室)标准等级
美国联邦标准209E (1992 年)PC/ft3
0.1
0.1
0.3
0.5
5.0
1
35
7.5
3
1
NA
10
350
75
30
10
NA
100
NA
750
300
100
NA
1000
NA
NA
NA
1000
7
10000
NA
NA
NA
10000
70
100000
NA
NA
NA
100000
700
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